生物晶片起源於1980年代後期，由Affymetrix公司以光導向平板印刷技術直接在矽晶片合成寡核苷酸點陣的高密度晶片，主要是利用玻璃或尼龍薄膜以及塑膠等材質所構成，其概念是來自電腦晶片，亦即將半導體策略應用在生物性分析系統中。生物晶片可區分為檢測型晶片和微流體晶片兩類，檢測型晶片又可稱為微陣列 (microarry) 晶片，又可分為基因晶片 (gene chip) 及蛋白質晶片 (protein chip) 二大類。微流體晶片則是指利用微機電系統技術的多功能性晶片，也稱為實驗室晶片。